色譜螺旋型結(jié)構(gòu)。傳統(tǒng)色譜分離柱一般由有機(jī)玻璃制作，由于其長度一般較長，在安裝和使用過程中都環(huán)繞成螺旋狀，而在初期制作微型色譜分離柱時，科研人員還是繼承了這一點(diǎn)，將微型分離柱設(shè)計(jì)為螺旋型結(jié)構(gòu)。其中，該結(jié)構(gòu)又可以分為圓形螺旋型結(jié)構(gòu)和正多邊形螺旋型結(jié)構(gòu)（常見的為正方螺旋型）。與其他結(jié)構(gòu)相比，在制作相同截面形狀和長度的色譜分離柱時，螺旋型結(jié)構(gòu)分離柱所占的基底面積最小。
將MEMS技術(shù)用于制造微型氣相色譜分離柱開始于1979年美國斯坦福大學(xué)的科學(xué)家S.C.Terry等人在硅基底上制造的螺旋型分離柱，總長1.5m，通過各向同性濕法腐蝕，制作的分離柱溝槽截面寬200μm、深30μm。盡管該微型分離柱的性能不如傳統(tǒng)的石英玻璃分離柱，但實(shí)現(xiàn)了簡單烷烴化合物和混合物的快速分離。涂覆OV－101固定相后，對戊烷和己烷的保留時間分別為3.3和4.6s。
盡管S.C.Terry等人制作的微型氣相色譜分離柱與現(xiàn)在的研究非常接近，但由于當(dāng)時微型化的需求還不夠強(qiáng)烈，并未引起當(dāng)時科學(xué)界的重視。直到90年代初期，微型氣相色譜分離柱的制造在全世界范圍內(nèi)得到了重視，并快速發(fā)展。該系統(tǒng)包括：微型進(jìn)樣裝置和螺旋型結(jié)構(gòu)色譜分離柱（長0.9m，截面寬300μm，深度僅有10μm，各向同性濕法腐蝕制作），涂覆有銅酞菁（CuPc）固定相用來分離和檢測NH3和NO2，對NH3和NO2的分辨率達(dá)10－6量級。有機(jī)玻璃干燥管